無塵車間的構成是由下列各項系統所組成（在所組成的系統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵車間：

⑴天花板系統

　　包括吊桿（Ceilingrod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceilinggrid或Ceilingframe）。

⑵空調系統

　　包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)

　　包括窗戶、門。

⑷地板

　　包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

　　包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造

　　一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：

　　A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；

　　B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；

　　C.吸濕性小；

       D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；